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本发明公开了一种测量金属膜膜厚的优化方法,包括:创建输入功率、金属膜膜厚和工艺时间之间的测量模型;根据真空镀膜理论,获取金属膜的第一极限电阻率;获取第一极限电阻率、金属膜材电阻率和金属膜膜厚之间的对应关系;将对应关系和第一极限电阻率输入到测量模型内,将测量模型转换为中间模型;对金属膜方阻与输入功率进行线性拟合,获取中间模型的参数,并利用中间模型的参数对测量模型的参数进行定标,并利用标定后的测量模型计算出金属膜膜厚。本发明对测量模型的参数进行标定,在保证测量模型准确性的同时,只需要知道工艺时间和输
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116825254 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310843452.5
(22)申请日 2023.07.10
(71)申请人 武汉光迅科技股份有限公司
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