原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及晶片抛光技术领域，具体为一种碳化硅晶片抛光工艺，抛光机包括机架、抛光台、抛光垫、抛光机头和控制系统，其中：机架设置在地面上，抛光机头安装在机架上，抛光机头上设置有驱动装置一，驱动装置一用于驱动抛光机头旋转，抛光台安装在机架内，机架上设置有驱动装置二，调节装置安装在抛光台上，调节装置用于调整抛光垫形状，使得抛光垫更贴合加工工件。本发明通过调节装置调整抛光垫形状，使得抛光垫更贴合加工工件，对加工工件进行多角度处理，将抛光面上的抛光液都处理完毕，保证无大量抛光液残留，加工工件抛光面没有产生大
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116810500 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310878766.9
(22)申请日 2023.07.18
(71)申请人 马超
地址 441000 湖北
文档评论（0）