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本申请提供了一种芯片清洁装置及芯片清洁设备，一种芯片清洁装置包括：传输机构、放料机构和擦拭机构，传输机构用于传送装载有芯片的料盘，放料机构设于传输机构上方，用于向传输机构的方向释放并收卷无尘布，擦拭机构用于带动放料机构释放的无尘布抵接并擦拭传输机构传送的料盘上的芯片。擦拭机构包括：抵压件、升降座和升降驱动组件，抵压件用于抵压无尘布接触芯片，升降座用于支撑抵压件，升降驱动组件用于驱动升降座带动抵压件沿靠近或远离芯片的方向升降移动。本申请提供的芯片清洁装置，可实现芯片的大批量擦拭清洁，提升芯片擦拭清
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116809478 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202210278324.6
(22)申请日 2022.03.21
(71)申请人 昆山思特威集成电
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