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本发明涉及一种基于复合小波分解算法的白光干涉法测量中的蝙蝠翼效应校正方法，属于精密测量信号处理技术领域。本发明提出了一种结合复合小波分解与相关性分析的干涉信号校正算法，采用Db6小波和Morlet小波对干涉信号进行复合分解处理，有效地提取出信号中包含高度信息的部分，减少杂波信号的干扰，然后对处理后的信号与仿真的理想干涉信号进行相关分析，对小波分解信号进行校正，提高零光程差(ZOPD)位置的提取精度。该方法在不需要测样品先验信息的情况下，能有效抑制蝙蝠翼效应，大大提高了白光干涉法对高度差小于相干长
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116817741 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202210284752.X
(22)申请日 2022.03.22
(71)申请人 山东大学
地址 250199 山
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