一种镀膜厚度测量方法.pdfVIP

一种镀膜厚度测量方法.pdf

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本发明公开了一种镀膜厚度测量方法，属于真空镀膜技术领域，通过对基片待镀膜面的背面进行铣磨，使背面形成带角度的凹槽以破坏基片的平行度，然后对基片待镀膜面进行镀膜，镀膜过程中激光对镀膜厚度进行光学监控时，基片两个面不平行，不会导致干涉现象，避免激光光控的信号干涉问题，使镀膜膜层的厚度测量更加准确。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116815148 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310594401.3 (22)申请日 2023.05.24 (71)申请人苏州众为光电有限公司地址 21

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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