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一种高温真空反应釜循环气氛系统.pdfVIP

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  • 2023-09-30 发布于四川
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一种高温真空反应釜循环气氛系统.pdf

    本发明公开了一种高温真空反应釜循环气氛系统，包括：循环气氛系统主体，循环气氛系统主体包括依次连通的冷却器、集尘器、真空泵、保护气氛部、反应气氛部，真空泵、保护气氛部之间设置有尾气处理装置，冷却器、反应气氛部分别与高温反应釜连通，高温反应釜的搅拌轴上设置有气体密封模块，气体密封模块与保护气氛部连通。在使用时先启动真空泵，真空泵通过集尘器将高温反应釜内进行抽气，使得该高温反应釜内部处于真空状态；而保护气氛部向气体密封模块提供惰性保护气体，使得气体密封模块中填充惰性保护气体，当发生泄漏后惰性保护气体则

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116817599 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310894928.8 (22)申请日 2023.07.20 (71)申请人 佛山市天禄智能装备科技有限公司 地

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