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本申请提供一种工艺参数优化的解释方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：根据原始工艺规程获得第一样本集，以及根据新工艺规程获得第二样本集；通过模型解释器对第一样本集中每个样本的原始特征进行一次解释，并根据新工艺规程与原始工艺规程的变化确定调整特征，生成第一相关趋势图；结合第一相关趋势图和第一目标值组分布确定第二目标值组分布；通过模型解释器对第二样本集中每个样本对应的调整特征进行二次解释，生成第二相关趋势图；结合所述第二相关趋势图和第二目标值组分布确定第三目标值组分布；对第一目标值组分布和第三目标
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116821602 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310807188.X G06N 5/01 (2023.01)
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