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本发明涉及一种基于CNT薄膜焦耳热响应的快速控温装置,包括有CNT电阻发热体,CNT电阻发热体安装在快速控温马弗炉的内壁面上,快速控温马弗炉的内腔中部设置有多孔陶瓷隔离板,多孔陶瓷隔离板的下端安装设置有与连续流动进气管安装连接的CNT合成石英管、上端安装设置有与马弗炉电气控制器安装连接的焦耳热加热电极头;本发明的基于CNT薄膜焦耳热响应的快速控温装置通过将CNT薄膜合成和CNT焦耳热响应试验集成在同一个马弗炉快速控温装置中,通过基于CNT薄膜焦耳热响应行为的功能性复合膜制备的CNT电阻发热体进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116817591 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310807283.X C23C 16/44 (2006.01)
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