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- 2023-10-01 发布于四川
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本申请提供一种载片检测装置,该载片检测装置包括第一限位件以及第二限位件。其中,第一限位件包括第一光滑表面;第二限位件包括第二光滑表面。第一限位件与第二限位件连接,在第一光滑表面与第二光滑表面之间形成预设间距的通道,且该通道允许厚度在预设范围内的载片通过。通过该通道方便用户快速检测待测试载片表面的平整度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210570454 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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