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In掺杂晶体Si电子结构的第一性原理计算
摘 要
硅是一种禁带宽度为1.12eV、间接带隙的第IV主族半导体材料,也是制作集成电路的最主要原材料。所谓集成电路,就是在一块硅晶片上制作上亿个电子元器件,再把它们连接起来,让一块很小的晶片实现强大的功能,高速地完成复杂的运算。在未来数十年里,硅的应用会更加广泛,而且人们对硅的需求和要求都会更加高。
硅一直以来都受到广大科技工作者的关注,然而由于单晶硅的电导率很低,为了提高硅的导电性能,各国学者致力于研究杂质原子类型,掺杂浓度对硅的电导率,光吸收系数等的影响,目前最常见的手段中子嬗变掺杂、气相掺杂法、原料掺杂法、硅心掺杂法、合金掺杂法、涂抹
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