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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110918548 A
(43)申请公布日
2020.03.27
(21)申请号 201911258634.6 C23G 1/12(2006.01)
C23G 1/22(2006.01)
(22)申请日 2019.12.10
(71)申请人 广东格斯泰气密元件有限公司
地址 519000 广东省珠海市高新区唐家湾
镇金洲路10号科研楼2楼
(72)发明人 徐雅琼 温梦帆
(74)专利代理机构 北京华际知识产权代理有限
公司 11676
代理人 陶小丽
(51)Int.Cl.
B08B 3/08(2006.01)
B08B 3/12(2006.01)
B08B 3/02(2006.01)
B08B 13/00(2006.01)
F26B 21/14(2006.01)
权利要求书1页 说明书3页
(54)发明名称
一种激光打孔氮化铝陶瓷板的清洗方法
(57)摘要
本发明公开了一种激光打孔氮化铝陶瓷板
的清洗方法,打孔氮化铝陶瓷片首先用酸浸泡,
熔渣里的氧化物与酸反应,粘结在氮化铝陶瓷板
上的熔渣产生空洞松软,只需轻轻用布擦拭就可
去掉陶瓷板表面的熔渣,减少刮板对陶瓷片造成
的损伤;中间多次超声波清洗可以使大块松软熔
渣脱落,便于酸与内层熔渣反应,加块清洗过程,
提高清洗效率;用低浓度的碱短时间浸泡,碱与
氮化铝陶瓷片表面轻微反应,即可将微孔内的熔
渣完全清洗干净,避免碱洗浓度太高时间太长对
氮化铝陶瓷表面产生腐蚀出坑和粗糙度过大现
象,保证微孔内熔渣无残留;所有超声清洗都是
A 将氮化铝陶瓷板放入无水乙醇或异丙醇中超声,
8 氮化铝板与无水乙醇和异丙醇无反应,生产工艺
4
5
8 更好控制。
1
9
0
1
1
N
C
CN 110918548 A 权 利 要 求 书 1/1页
1.一种激光打孔氮化铝陶瓷板的清洗方法,其特征在于:包括以下步骤:
A、预浸:将激光打孔后的氮化铝陶瓷板浸泡在体积比20%~30%的硫酸中,浸泡时间2
小时;
B、擦洗:用浸过纯水的布轻轻擦拭掉陶瓷板表面的熔渣,然后用纯水冲洗干净;
C、第一次超声清洗,将陶瓷板放在无水乙醇或异丙醇中超声清洗3-5分钟;
D、泡酸:将氮化铝陶瓷板浸泡在体积比5%-10%的硫酸中,浸泡时间2-4小时;
E、第二次超声清洗:将陶瓷板放在无水乙醇或异丙醇中超声清洗3-5分钟;
F、泡碱:将陶瓷片浸泡在重量比2%-5%的氢氧化钠溶液中,浸泡时间1-2小时;
G、第三次超声清洗:将陶瓷板放在无水乙醇或异丙醇中超声清洗3-5分钟,清洗1-3次;
H、吹干烘干:先用气枪吹掉陶瓷板表面多余的溶液,然后放进烘干箱烘干。
2.根据权利要求1所述的一种激光打孔氮化铝陶瓷板的清洗方法,其特征在于:所述步
骤B中清水冲洗2-3遍。
3.根据权利要求1所述的一种激光打孔氮化铝陶瓷板的清洗方法,其特征在于:所述步
骤C和步骤E超声清洗的超声功率均为1000-2000W。
4.根据权利要求1所述的一种激光打孔氮化铝陶瓷板的清洗方法,其特征在于:所述步
骤G中超声清洗的超声功率均为2000-3000W。
5.根据权利要求1所述的一种激光打孔氮化铝陶瓷板的清洗方法,其特征在于:所述
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