洁净无尘室定义标准和设备要求.docxVIP

精心整理 干净无尘室之定义 (一)干净室之定义（供大家参照）干净室(CleanRoom)，亦称为无尘室或清净室。「洁 净室」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物清除， 并将室内之温度、干净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振动及照明、静 电控制在某一需求范围内，而所赐予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件 怎样变化，其室内均能俱有保持原来所设定要求之干净度、温湿度及压力等性能之 特征。干净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的干净度日及温 湿度，使产品能在一个优秀之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「干净室」。 (二)干净室之等级世界各国均有自定规格，但广泛仍是用美国联邦标准209为多，以 下仅就209D及209E和世界上其余各国拟订标准作介绍与互相比较。 209E与209D 等最大之不一样在于209E表示单位增添了公制单位，干净室等级以‵M′字头表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3..依此行推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉 伯数量字是以每立方公尺中=0.5(m之微尘粒子数量字以10的幂次方表示，取指数 为之，若微尘粒子数介于前后两者完好幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5.表示。美 国联邦标准FS209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采纳公制，即以每立方公尺为单位，以0.1(m微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class1，Class2，Class3Class8表示，最好的等级为Class1，最差则为Class8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。 (三)干净室控管之项目1.能除掉空气中飘游之微尘粒子。2.能防备微尘粒子之产生。 3.温度和湿度之控制。4.压力之调理。5.有害气体之清除。6.结构物与隔间之气密性。 7.静电之防制。8.电磁搅乱预防。9.安全要素之考虑。10.节能之考量。 (四)干净室之分类1.乱流式(TurbulentFlow)：空气由空调箱经风管与干净室内之空气 精心整理 过滤器(HEPA)进入干净室，并由干净室双侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线 型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式合用于干净室等级1,000-100,000级。 长处：结构简单、系统建筑成本，干净室之扩大比较简单，在某些特别用途场所， 可并用无尘工作台，提升干净室等级。弊端：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮 不易排出，易污染制程产品。此外若系统停止运行再激活，欲达需求之干净度，往 往须耗时相当长一段时间。2.层流式(Laminar)：层流式空气气流运动成一平均之直 线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或双侧隔墙板回风，此 型式合用于干净室等级需定较高之环境使用，一般其干净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，灰尘随风向排出室外，一般在下贱侧污染较严重。长处：结构简单， 运行后短时间内即可变为稳固。弊端：建筑花费比乱流式高，室内空间不易扩大。(2)垂直层流式：房间天花板完好以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁 净度，在制程中或工作人员所产生的灰尘可快速排出室外而不会影响其余工作地区。 长处：管理简单，运行开始短时间内即可达稳固状态，不易为作业状态或作业人员 所影响。弊端：结构花费较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维 修改换过滤器较麻烦。3.复合式(MixedType)：复合式为将乱流式及层流式予以复合 或并用，可供给局部超干净之空气。(1)干净地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA 过滤器将制程地区或工作地区100%覆盖使干净度等级提升至10级以上，可节俭安装运行花费。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔绝，以防止机 器维修时影响了工作及质量，ULSI制程多数采纳此种型式。干净地道还有二项长处： A.弹性扩大简单；B.维修设施时可在维修区轻易履行。(2)干净管道(CleanTube)：将 产品流程经过的自动生产线包围并净化办理，将干净度等级提至100级以上。因产 品和作业员及发尘环境互相隔绝，少许之送风即可获得优秀之干净度，可节俭能源， 精心整理 不需人工的自动化生产线为最适合使用。药品、食品业界及半导体业界均合用。(3) 并装局部干净室(CleanSpot)：将干净室等级10,000~100,000之乱流干净室内之产 品制程区的干净度等级提升为10~1000级以上，认为生产之用；干净工作台、干净 工作棚、干净风柜即属此类。干净工作台：等级Class1~100级。干净工作棚：为在 乱流式之干净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采纳独立之HEPA或 ULPA及空调送风机