CESA-2021-4-024《单晶炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法》.pdfVIP

ICS CCS 团 体 标 准 T/CESAXXXX—202X 单晶炉热平衡和热效率及综合能耗的计算 方法 Calculationmethodofthermal equilibrium,thermal efficiency andcomprehensiveenergy consumption for silicon singlecrystalgrower 征求意见稿 在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。 已授权的专利证明材料为专利证书复印件或扉页，已公开但尚未授权的专利申 请证明材料为专利公开通知书复印件或扉页，未公开的专利申请的证明材料为专利 申请号和申请日期。 202X-XX-XX 发布 202X-XX-XX 实施 中国电子工业标准化技术协会 发 布 T/CESA XXXX—202X 单晶炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 1 范围 本标准规定了单晶炉热平衡、热效率和综合能耗的计算方法。 本标准适用于单晶硅棒生产工序的单晶炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其它类型的电阻 炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参照采用本标准。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 2589 综合能耗计算通则 3 热平衡测试与计算基准 物料平衡和热平衡计算单位 物料平衡、热平衡的计算单位分别为kg、kJ。 基准温度与基准压力 以单晶炉车间内的环境平均温度为基准温度。 基准压力为1个标准大气压，即101325 Pa。 热平衡测试范围 以单晶炉炉体为边界，即炉体外壳、进气口端口及真空管道排气端口为边界设定的热平衡系统。 热平衡测试工况和测试频次 单晶炉至少正常运行一个生产周期后方可进行测试，每次测试要覆盖一个完整的生产周期，且测试 次数不低于2次。 4 测定项目及测定方法 测定前的准备 4.1.1 准备好测定用仪表；进行必要的校正，使之达到规定的精度。 4.1.2 布置测量点，开设测量孔，安装测量仪表，进行单项检测。 热平衡方框图 4.2.1 单晶炉的热平衡如图1所示。 1 T/CESA XXXX—202X 图1 热平衡方框图 注： 收入热量 （kJ）： ——入炉气体带入的显热； ——入炉多晶硅原料带入的 ——入炉加料管带入的显 显热； 热； ——电加热的输入热量； ——进口冷却水的显热。 支出热量 （kJ）： ——出炉气体带出的显热； ——出炉单晶硅棒带出的显 ——出炉加料管带出的显 热； 热； ——出口冷却水的热量。 ——壁面热损失； ——炉体孔口热辐射 损耗