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本发明提供一种MEMS器件及其制造方法，MEMS器件的制造方法包括：第二衬底的第一表面形成有第一MEMS结构和第二MEMS结构，第一衬底包括对应于第一MEMS结构的第一区域和对应于第二MEMS结构的第二区域；依次形成牺牲层和保护层于第一衬底的第一表面；在第一区域形成第一空腔和第一抽气孔，在第二区域形成第二空腔；将第一衬底的第二表面与第二衬底的第一表面键合；形成多个第二抽气孔于保护层中；在牺牲层中形成第三空腔；第二抽气孔与第三空腔连通；通过第二抽气孔、第三空腔和第一抽气孔对第一空腔进行抽气，并填充
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116835522 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310789202.8 G01C 21/16 (2006.01)
(22)申请日 2023.06.
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