一种腔室预热方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.25万字
约 11页
2023-10-04 发布于四川
举报
版权申诉

一种腔室预热方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请涉及加热工艺技术领域，特别涉及一种腔室预热方法。通过对腔室进行加热，并对腔室实际温度进行实时监测，缩短预热时间，腔室实际温度升高一定数值后再开启外冷水路和主冷水路，缩短预热时间的同时减少能耗。通过延迟开启外冷水路和主冷水路，可有效缩短腔室的预热时间，同时减少腔室的实际加热温度与所需的工艺温度之间的偏差，提高腔室预热的温度准确性，避免多次试产，并且避免冷却和加热同步进行造成能源浪费的问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116837357 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310793010.4 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人广东利元亨智能装备股份有限公司地