形成光学系统.pdfVIP

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  • 2023-10-04 发布于四川
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一种形成包括透镜和其他光学元件的光学系统的方法,其中该方法包括:使用光刻装置形成母版工具;使用所述母版工具以形成包括多个透镜和相关联的透镜对准特征件的基板;切割所述基板以形成单独基板,单独基板各自具有带有集成透镜对准特征件的透镜;将其他光学元件定位在夹具中;以及将所述多个透镜中的透镜放置在所述夹具中,使得针对所述透镜的集成对准特征件靠在所述夹具的表面上,从而将所述透镜放置在相对于其它光学元件的所需位置中。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116848438 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202180082187.2 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事

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