一种面向Micro LED芯片的转移设备.pdfVIP

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  • 2023-10-04 发布于四川
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本发明公开了一种面向MicroLED芯片的转移设备,包括转移单元、激光剥离单元、拾取头切换单元、视觉检测单元、修补单元以及作为以上各单元安装基础的支架。该面向MicroLED芯片的转移设备,其中转移单元可实现MicroLED芯片的拾取及转移;激光剥离单元可以实现MicroLED芯片与基板的剥离;俯视固定相机可对需转移MicroLED芯片的尺寸、数量、位置进行预判断,实现对拾取头的粗定位;拾取头切换单元可以自动选择和切换拾取头,实现不同尺寸、数量的MicroLED芯片的拾取及转移;俯视

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109768129 A (43)申请公布日 2019.05.17 (21)申请号 20191

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