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本发明涉及一种用于二维半导体晶体缺陷检测的多偏振分解谐波显微成像装置及方法，属于光学显微成像技术领域。本发明装置包括激光光源系统、多偏振生成系统、谐波信号激发系统、信号探测系统以及控制与数据处理系统。本发明采用不同角度线偏振态激发光、不同旋向圆偏振光以及径向偏振光对二维半导体进行谐波信号激发，并扫描形成谐波图像，接着在探测端进行不同模式的偏振探测。进一步对不同旋向圆偏振激发的谐波图像提取差异图像。本发明利用谐波信号的相干特性，以及对激发光偏振态的敏感性，通过扩展入射光偏振态，并对相应谐波显微图像
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116840257 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310807279.3
(22)申请日 2023.07.04
(71)申请人 哈尔滨工业大学
地址 15000
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