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本发明提供了一种金属氧化物靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：将金属氧化物、溶剂和粘结剂进行混合，得到混合料，将所述混合料进行压坯，得到生坯；将所述生胚进行加热脱脂，得到脱脂后坯；将所述脱脂后坯进行装模和真空热压烧结，得到所述金属氧化物靶材；其中，所述真空热压烧结包括依次进行的抽真空、一次升温、二次升温和三次升温，所述一次升温至第一温度时开始加压；所述制备方法通过步骤的相互配合，制备得到了致密度≥97％的高纯氧化物靶材，并且靶材不仅微观均匀致密，均匀无气孔，同时溅射性能优良。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116835981 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310818953.8 C23C 14/34 (2006.01)
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