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本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体公开了一种热电偶测量热场控制设备,包括热电偶本体、套管、吊架以及连接座,所述热电偶本体顶部活动安装在套管内,所述套管顶部设置有转动座,所述转动座与连接座下部的转动台通过转轴相连;所述连接座上部安装在吊架中,且在连接座上部设置有滑块,所述吊架内设置有滑槽,所述滑块配合卡在滑槽中,且滑块沿着滑槽的长度方向移动;所述转动座的转动方向与滑块的滑动方向相互垂直;本实用新型所提供的测量设备,通过热电偶进行检测,且热电偶位置能够灵活调整控制来对不同部位进行检测,以此来提高测
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219798560 U
(45)授权公告日 2023.10.03
(21)申请号 202321280779.8
(22)申请日 2023.05.22
(73)专利权人 蒙城繁枫真空科
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