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本发明公开了一种用于纳米级盲孔填充的化学镀钴溶液，所述化学镀钴溶液由下述配比的原料组成：氯化钴11.5～33.5g/L、柠檬酸钠23.5～47.5g/L、水合肼13.5～59.5mL/L、三乙醇胺1.0～7.0mL/L、聚苯乙烯磺酸钠1.0～5.0mg/L，其余为蒸馏水；并用NaOH调节所述化学镀钴溶液的pH为12.0～13.0；其中三乙醇胺为加速剂，聚苯乙烯磺酸钠为抑制剂。本发明通过在化学镀钴溶液中添加毫克级的大分子的抑制剂聚苯乙烯磺酸钠，可以实现纳米级盲孔的无空洞、无缝隙、完美的化学钴填充，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116837360 A
(43)申请公布日 2023.10.03
(21)申请号 202310744398.9
(22)申请日 2023.06.21
(71)申请人 陕西师范大学
地址 710062
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