《湿电子化学品技术成熟度等级划分及定义》编制说明.pdfVIP

团体标准《湿电子化学品技术成熟度等级划分及定义》征求意见稿 编制说明 （完成日期：2020 年12 月） 一、工作简况 1.1 任务来源 湿电子化学品是微电子、光电子湿法工艺制程的主要原材料之一，在半导体、 平板显示、太阳能电池等制造中都有广泛应用，具有品种多、用量大、技术要求高、 贮存有效期短和强腐蚀性等特点。产品规格、工艺制成、所属领域不同，对是湿电 子化学品的技术要求不同，材料的技术成熟度存在很大差别。2019 年6 月工业和信 息化部原材料工业司发文委托中国电子材料行业协会 （简称协会）拟制湿电子化学 品技术成熟度等级划分及定义团体标准“关于委托拟制湿电子化学品技术成熟度等 级划分及定义团体标准的函” （工原函【2019 】224 号）。 通过本项目的实施分类总结在半导体、平板显示、太阳能电池等不同应用领域 湿电子化学品的品种、分类、功能及用途以及产品质量技术要求；研究在不同应用 领域湿电子化学品技术成熟度的定义、等级划分和判定规则；编制《湿电子化学品 技术成熟度等级划分及定义》团体标准。聚焦 1-2 种大宗重点湿电子化学品，依据 团体标准，开展评价试点；形成等级划分报告，明确试点产品技术成熟度、产业竞 争力状态，提出下一步发展建议；为原材料工业司支持产业发展对策的制定提供参 考。 1.2 标准编制工作相关方及工作组成员单位 指导单位：工业和信息化部原材料工业司 承担单位：中国电子材料行业协会 电子化工新材料产业联盟 （简称联盟） 主要起草及参与单位： 中国电子材料行业协会、苏州晶瑞化学股份有限公司、北方集成电路技术创新 中心（北京）有限公司、湖北兴福电子材料有限公司、江苏德纳化学股份有限公司、 杭州格林达电子材料股份有限公司、沧州信联化工有限公司、安集微电子科技（上 1 / 7 海）股份有限公司、多氟多化工股份有限公司、浙江森田新材料有限公司、中巨芯 科技有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、江苏怡达化学股份有限公司等。 1.3 简要工作经过 （1） 2019 年7 月接到工信部拟制“湿电子化学品技术成熟度等级划分及定义” 团体标准的工作函后，协会和联盟组织相关人员制定工作方案和团体标 准的编制计划，确定项目负责人和工作职责，初步明确项目的参与单位 和成员。 （2 ） 2019 年9 月协会、联盟秘书长带队，协会有关人员参加对苏州晶瑞化学 股份有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司等部分湿电子化学品 生产企业进行了实地调研。重点了解了①双氧水（H O ）、氢氟酸（HF ）、 2 2 硫酸 （H SO ）、硝酸 （HNO ）、氨水（NH •HO ）等湿电子化学品的研 2 4 3 3 2 发历程、成长经历，以及所处不同阶段的特征（起步阶段、成长阶段、 成熟阶段）；②产品、设备装置特点、关键技术（提纯、检测、包装）； ③产品市场和客户应用，以及产品成长、成熟过程中用户验证的重要性； ④对于危化品的政府监管和产业政策等。 （3 ） 2019 年 10 月对部分微电子化学品生产企业做了企业基本情况的问卷调 研和团体标准等级定义和等级条件表述建议的征集。回收企业基本情况 调查问卷 8 份，产品涉及H O 、HF 、H SO 、HNO 、NH •HO 等。回 2 2 2 4 3 3 2 收团体标准表述建议6 份，信息汇总见附件1。 （4 ） 在实地调研和等级定义及条件表述征集的基础上，参考已经发布实施《新 材料技术成熟度等级划分及定义》（GB/T 37264-2018 ）(简称新材料标准) 、