圆排车工艺操作指导书.docxVIP

福建省XX电子企业有限公司 FUJIAN JOINLUCK ELECTRONIC ENTERPRISE CO., LTD. 文件名称 圆排车工艺操作指导书 文件编号 WI-JLRD-731 生效日期 2022-12-1 版次 1.2 页次 1/3 一.设 备：圆排气车与微机控制系统、真空泵、1500W电炉、高频电火花检漏器 二.原材料： 高纯氮气（99.999%）、清洗纯氮（99.99%）封口后灯管、水银 .工 具：周转盘、砂轮片、镶子、真空脂 .操作规程: 操作规程 技术要求 注意事项 使用 表单 .打开循环冷却水，检查真空管道处于关闭状态并确认冷 却水在泵体夹套内畅流后开启真空泵。用高频电火花检 漏器检查各真空管道的玻璃小球并确认无漏气后打开 氨气管道真空开关。 .把注汞漏斗均匀涂上一层干净的荧光粉,检查汞腔内是 否有汞。 .打开高压气源，开通微机控制系统，转动机台。 .观察每个工位头的真空度情况：各工位转到17工位时 真空度应低于1.5Pa,转到33工位时真空度应低于 0. 13Pao如有异常需将橡皮插紧或更换。 .在确认各工位真空度正常后关闭负气管道真空开关。检 查两氮气瓶里氤气量，不低于0.05MPa。调整输入压力 表，压力为：高纯氤0.013Mpa ；清洗纯M 0.015MPa-0. 02MPao .依次打开冷却风开关，加热开关，注汞开关，分解开关， 滴汞开关，筑气填充