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本实用新型公开了一种用于镀膜机腔体中的防护机构，包括由一类防护板和二类防护板围成的可拆卸的防护箱，一类防护板上开设有与靶材面相对的通孔，二类防护板上开设有与导轨相对应且贯通的缺口。还包括设置在靶材与一类防护板之间的防护通道、设置在导轨上的导轨防护罩，以及限位板。本实用新型通过设置可拆卸的防护箱，并在防护箱侧壁上分别设置相应的通孔和缺口，能实现既不影响镀膜工作的顺利进行，又能将溅射金属拦截在该防护箱内侧，方便清理，利于回收贵重金属，实现资源再利用。还通过加设防护通道和导轨防护罩，能进一步加强防护效
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210620925 U
(45)授权公告日
2020.05.26
(21)申请号 20192
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