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一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置.pdfVIP

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  • 2023-10-09 发布于四川
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一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置.pdf

    本实用新型涉及一种触摸屏ITO膜不平度缺陷检测装置，包括光源发生器、缺陷探测判别器和用于放置被测对象的检测平台，所述光源发生器包括第一壳体、顺序设置于第一壳体内的窄带光源、准直器、起偏器和相位延迟器，窄带光源发出光束，准直器、起偏器和相位延迟器分别用于对光束进行准直、起偏和相位延迟，输出椭圆偏振光到被测对象上；所述缺陷探测判别器包括第二壳体、顺序设置于第二壳体内的检偏器、成像镜头和探测器，检偏器用于接收反射光信号，成像镜头用于将信号传递给探测器靶面，探测器用于将信号传递给信号处理器。本实用新型将

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210626360 U (45)授权公告日 2020.05.26 (21)申请号 20192

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