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本发明提供一种液体供应单元和液体供应方法。该液体供应单元包括：喷嘴；液体供应管，该液体供应管用于向喷嘴供应处理液；杂质去除单元，该杂质去除单元安装在液体供应管中以去除处理液中的杂质，其中杂质去除单元包括：测量单元，该测量单元用于测量处理液中杂质的特性并形成杂质数据；振动单元，该振动单元用于对处理液施加振动；捕获单元，该捕获单元配置为吸附被施加振动的处理液中的杂质；以及控制单元，该控制单元用于控制测量单元和振动单元，以及当杂质数据超过参考数据范围时，控制单元运行振动单元。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116864412 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202210315991.7
(22)申请日 2022.03.28
(71)申请人 细美事有限公司
地址 韩国忠清南
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