一种晶圆分选设备.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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一种晶圆分选设备.pdf

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本发明公开了一种晶圆分选设备，其结构包括底座、分选仓、传输带、抽风筒，本发明通过将晶圆片放置在传输带上，并首先通过抽风筒来将粉尘进行清除，随后令晶圆随着传输带的移动被送入到分选仓内进行分选，晶圆在接触到挑选头的时候，会与内收块进行接触，产生的惯性挤压力一部分传导给升降杆进行变形吸收，一部分则会直接施加给贴合块，此时贴合块的接触块受到挤压后，首先向内收槽内收缩，进而导致扭动架被向右侧挤压并扭动设有的扭簧轮结构，并在压力过大时通过变形块受到导向块挤压变形来进一步吸收，由此来对分选过程中晶圆的惯性产生

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116851281 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202211532352.2 (22)申请日 2022.12.01 (71)申请人许少华地址 362000 福