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本申请涉及一种线性镀膜设备及其方法，涉及闪烁体加工设备的技术领域，镀膜设备包括蒸发源，蒸发源上侧设置有基板固定装置，基板固定装置上设置有能够驱动基板固定装置水平移动的线性驱动装置。本申请中蒸发源和基板固定装置的设置，使得能够固定基板，并使得蒸发源内的镀膜材料蒸发气化至基板上，进而能够在夹板上镀膜。而通过线性驱动装置的设置，能够驱动基板固定装置在水平方向移动，从而使得基板能够在蒸发源上侧移动，进而对于大面积的基板或长度较长的矩形基板能够通过移动实现在基板镀膜。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116855894 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310919896.2
(22)申请日 2023.07.25
(71)申请人 上海烁泰科技有限公司
地址 20
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