光学系统、光刻设备和方法.pdfVIP

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2023-10-11 发布于四川
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光学系统、光刻设备和方法.pdf

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本发明涉及一种用于光刻设备(100A、100B)的光学系统(200)，具有光学元件(202)，该光学元件包括衬底(204)、设置在衬底(204)上的光学有效区域(210、210’)以及多个通道(212、212’、214、214’、212A、214A、212B、214B、212C、214C、212D、214D、212E、214E、212F、214F、212G、214G、212H、214H、212J、214J、212I、214I)，所述通道延伸穿过衬底(204)，并且可以通过流体(F)向所述多个通道

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116868129 A (43)申请公布日 2023.10.10 (21)申请号 202280011254.6 (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所