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本发明涉及一种用于材料显微表征的辉光放电溅射样品制备的装置及方法，装置包括辉光放电溅射单元、辉光放电供能源、气路自动控制单元、光谱仪和计算机；对辉光放电溅射单元结构通过模拟优化以更加适合样品制备，并通过施加一个磁场于辉光等离子体实现在样品表面大尺寸范围内均匀样品溅射；光谱仪用于监控样品溅射深度方向上元素光谱信号，以实现不同层组织结构的精确制备；结合样品位置标记与精确空间坐标(x,y,z)信息的获取，实现样品制备表面空间坐标与组织结构的对应。本发明可以实现样品mm～cm级大尺寸平坦制备、对材料组织
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112067391 A
(43)申请公布日 2020.12.11
(21)申请号 202010951252.8
(22)申请日 2020.09.11
(71)申请人 钢研纳克检测技术股份有限公司
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