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本申请属于同轴调节设备技术领域，尤其是涉及一种对中装置及方法。该对中装置用于调节第二对中件与第一对中件之间的同轴度，对中装置包括第一检测模块、调节模块以及第二检测模块；第二对中件预固定于第一对中件形成预连接工件组，预连接工件组能够置于调节模块上；第一检测模块用于检测第一对中件与调节模块之间的第一同轴度，第二检测模块用于检测第二对中件与调节模块之间的第二同轴度；调节模块设置为用于根据第一同轴度调节预连接工件组的位置、以及用于根据第二同轴度调节第二对中件的位置。该对中装置通过多模块配合检测及调节对中
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116852091 A
(43)申请公布日 2023.10.10
(21)申请号 202310896903.1
(22)申请日 2023.07.20
(71)申请人 东方晶源微电子科技（北京）股份有
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