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本发明公开了一种薄型硅片连续转运装置，涉及硅片生产设备技术领域，包括转运平台，所述转运平台上表面设有底板，所述底板的上表面设有若干个侧板，所述底板和相邻两组所述侧板之间形成水流通道，水流通道的内部设有水流路径，水流穿过水流路径的始端，并沿着水流路径转运硅片，所述水流通道内且靠近水流路径的末端处设有转运架，所述转运架的内部设有承托板，当水流将硅片转运至承托板上时，通过设置在承托板上的透水孔，用于分离承托板上的水流和硅片。本发明具有降低硅片破损率的作用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116884898 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310896615.6
(22)申请日 2023.07.20
(71)申请人 山西东明光伏科技有限公司
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