原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种晶圆智能装载方法及系统，涉及数据处理技术领域。通过将晶圆搬至第一区域，根据实时装载需求匹配加工模块并结合实时需求数据得到加工控制参数，将加工模块与位于第一区域的晶圆进行对准，基于加工控制参数对晶圆进行装载加工当装载加工结果满足实时需求数据时将晶圆的装载加工结果搬至第二区域。解决了现有技术中存在晶圆装载加工全流程中晶圆在装载工序之间的转移次序以及每个装载工序中加工参数设定都依赖于人工设定，导致晶圆加工稳定性和准确性不足的技术问题。达到了智能定位晶圆装载加工工序，实现晶圆加工控制参数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116884897 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310853380.2
(22)申请日 2023.07.12
(71)申请人 苏州鸿安机械股份有限公司
地址
文档评论（0）