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一种电子级半导体剥离液纯化方法.pdfVIP

一种电子级半导体剥离液纯化方法.pdf

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    一种电子级半导体剥离液纯化方法，包括：提供电子级半导体剥离液残液，并进行PH值检测，当PH＜7时，滴加NaOH溶液至8≤PH≤10时停止；将中和后的残液抽入至蒸馏塔釜，将残液的水溶液脱出，从釜顶采入贮罐，釜底为含盐份废液，并通过降温、结晶、离心去除盐份，母液重新蒸馏，回收电子级半导体剥离液的水溶液；水溶液抽入至脱水塔釜将水份分离，釜底为电子级半导体剥离液粗品；将粗品利用精馏塔釜精制，在釜顶采出电子级半导体剥离液纯品；电子级半导体剥离液纯品利用蠕动泵进行微膜过滤，制得电子级半导体剥离液精品。本发明

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116870816 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310842194.9 B01D 3/42 (2006.01)

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