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本发明涉及一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接外导流筒及其制备方法，属于硅单晶生产设备技术领域。所述炭/炭拼接外导流筒包括导流筒本体及其外表面上的功能性涂层，其中，导流筒本体是采用不同密度的炭/炭复合材料制备而成的分段拼接结构，分为上部法兰环、中部直筒以及下部底座三部分，三部分之间通过止口连接并通过连接件进行固定，上部和下部采用较高的密度能够承力和抗硅蒸汽腐蚀，中部较低密度具有较低的导热系数以满足隔热需求，而且拆分的各部分结构简单容易制备，各部分间装配快速、便捷，生产效率高，制备成本低，在单晶硅生产领域
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116876072 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310637685.X
(22)申请日 2023.06.01
(71)申请人 西安超码科技有限公司
地址 71
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