单晶炉加热结构和单晶炉.pdfVIP

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2023-10-14 发布于四川
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单晶炉加热结构和单晶炉.pdf

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本发明涉及一种单晶炉加热结构，包括：绝缘底盘；多个加热单元，多个所述加热单元环绕设置于所述绝缘底盘的边缘；供电单元，用于向所述加热单元施加电信号；导电块，活动连接于相邻加热单元之间，使得多个所述加热单元相串联，并与所述供电单元相配合形成回路；绝缘连接组件，绝缘连接组件的一端与导电块连接，绝缘连接组件的另一端用于与坩埚支撑轴连接，绝缘连接组件随着坩埚轴升降，带动导电块进行升降运动，以改变加热单元的加热区在第一方向上的长度，第一方向为坩埚支撑轴的轴向方向。本发明还涉及一种单晶炉。改变加热部件的加热区

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116876073 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310952401.6 (22)申请日 2023.07.31 (71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司地