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一种CuO纳米线、纳米颗粒二维混杂结构功能薄膜的制备方法及其产品.pdfVIP

一种CuO纳米线、纳米颗粒二维混杂结构功能薄膜的制备方法及其产品.pdf

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    本发明公开一种CuO纳米线、纳米颗粒二维混杂结构功能薄膜的制备方法及其产品，该制备方法包括以下步骤：利用磁控溅射技术制备TiCuN/Cu双层薄膜，随后，在空气气氛下对TiCuN/Cu双层薄膜进行氧化，通过控制氧化温度和时间，制备出具有特殊结构的CuO纳米线、纳米颗粒二维混杂结构功能薄膜。本发明提供的CuO纳米线、纳米颗粒二维混杂结构功能薄膜，CuO纳米颗粒大小均匀，粒径为51～96nm，CuO纳米线均匀地分布在CuO纳米颗粒中，长度大小不等，最长长度约为1175nm，薄膜的接触角为130.1°～

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116875949 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310660513.4 B82Y 30/00 (2011.01)

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