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本发明公开一种CuO纳米线、纳米颗粒二维混杂结构功能薄膜的制备方法及其产品,该制备方法包括以下步骤:利用磁控溅射技术制备TiCuN/Cu双层薄膜,随后,在空气气氛下对TiCuN/Cu双层薄膜进行氧化,通过控制氧化温度和时间,制备出具有特殊结构的CuO纳米线、纳米颗粒二维混杂结构功能薄膜。本发明提供的CuO纳米线、纳米颗粒二维混杂结构功能薄膜,CuO纳米颗粒大小均匀,粒径为51~96nm,CuO纳米线均匀地分布在CuO纳米颗粒中,长度大小不等,最长长度约为1175nm,薄膜的接触角为130.1°~
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116875949 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310660513.4 B82Y 30/00 (2011.01)
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