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本申请提供缺陷诊断方法、电子设备、计算机可读存储介质及计算机程序产品，应用于多个衬底，所述方法包括：针对每个所述衬底，执行以下处理：对所述衬底进行缺陷检测，获取所述衬底的衬底缺陷检测结果；对所述衬底进行气相外延，生成所述衬底对应的外延片；对所述外延片进行缺陷检测，获取所述外延片的外延缺陷检测结果；根据所述衬底缺陷检测结果和所述外延缺陷检测结果，获取所述衬底的缺陷影响类别，所述衬底的缺陷影响类别用于表征所述衬底的缺陷对外延片的影响程度。本申请通过分别对衬底和外延片进行缺陷检测，确定衬底缺陷对外延片
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116884868 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310900092.8
(22)申请日 2023.07.21
(71)申请人 苏州纳维科技有限公司
地址 21
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