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本申请属于半导体固晶设备技术领域，本申请提供了一种进出料装置及固晶设备，进出料装置包括传送机构、上料机构和下料机构，传送机构的两侧分别设有上料工位和下料工位；上料机构与上料工位对应设置，上料机构包括有第一料叉组件和第一驱动组件，第一驱动组件与第一连接架传动连接；下料机构与下料工位对应设置，下料机构包括有第二料叉组件和第二驱动组件，第二料叉组件包括有第二连接架和多个第二料叉块，第二驱动组件与第二连接架传动连接。本申请还提供一种固晶设备。本申请提供的进出料装置通过设有上料机构和下料机构，从而带动物料
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116884900 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202311069489.3
(22)申请日 2023.08.23
(71)申请人 深圳新益昌科技股份有限公司
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