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本发明公开了一种用于半导体级和电子级的氢氟酸高效精馏装置,涉及氢氟酸制备技术领域,包括塔体,还包括升降板,设置在塔体内腔顶部;升降机构,设置在升降板与塔体之间,用于驱动升降板在塔体内上下移动;旋转圈,设置在升降板底部。本发明通过升降机构与旋转机构驱动工业摄像头和测厚仪在塔体内壁做螺旋线移动,对每次制备完成后的塔体内壁进行检测,若是检测时发现制备的半导体级和电子级氢氟酸的纯度不合格,对塔体内壁的材料进行针对性杂质检测,不需要对杂质进行先提取再分析,便可及时发现塔体内壁因被腐蚀导致半导体级和电子级氢
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116870509 A
(43)申请公布日 2023.10.13
(21)申请号 202310950241.1
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 福建汉芯科技有限公司
地址 35
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