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φ600mm干涉仪系统传递函数的检测与分析方法研究的中期报告
本研究旨在探讨检测和分析φ600mm干涉仪系统传递函数的方法。在中期报告中，我们已经完成了一系列的实验和数据处理，并且初步验证了所提出的方法的可行性。
具体来说，我们设计了一套实验方案，采用同步相位测量技术获取系统的传递函数参数，包括通道增益和相位差。在实验中，我们首先使用信号发生器产生一组频率为100Hz的正弦信号作为输入，然后将信号输入到干涉仪系统中，最终通过同步相位测量技术获取到输出信号的增益和相位差。通过对比输入和输出信号之间的差异，我们计算出系统的传递函数，并进行进一步的分析。
我们还在实验中探讨了不同干涉仪系统参数对传递函数的影响，包括光路差、光路长度和光学元件质量等。通过实验数据的处理和分析，我们初步得出了以下结论：
1. 干涉仪系统的传递函数与光路差和光路长度密切相关。
2. 光学元件的质量和精度对干涉仪系统的传递函数也有重要影响。
3. 采用同步相位测量技术可以有效提高传递函数的测量精度和稳定性。
在下一步工作中，我们将继续深入研究干涉仪系统传递函数的相关特性，并进一步完善实验方案和数据处理方法，以提高测量精度和可靠性。
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