《自动检测与转换技术》课件 第5章 电容传感器.ppt

电容式差压变送器内部结构 1－高压侧进气口(取压口) 2－低压侧进气口(取压口) 3－过滤片 4－空腔 5－柔性不锈钢波纹隔离膜片 6－导压硅油 7－凹形玻璃圆片 8－镀金凹形电极（定极板） 9－弹性平膜片 10－δ腔 11－铝合金外壳 12－限位波纹盘 13－过压保护悬浮波纹膜片 14－公共参考端（地电位） 各种电容式差压变送器外形 P1 P2 各种电容式压力变送器外形（续） 法兰 各种电容式压力、差压变送器外形 p1 p2 * * 一、电容测厚仪（导电物体）（续） 电容测厚仪示意图 1－金属带材 2－电容极板 3－导向轮 4－轧辊 二、电容加速度传感器 微电子机械系统（MEMS）技术可以将一块多晶硅加工成多层结构，制作“三明治”摆式硅微电容加速度传感器。在硅衬底上，制造出三个多晶硅电极，组成差动电容C1、C2。底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片，左端固定在衬底上，所以相当于悬臂梁。它的核心部分可以小于φ3mm左右，与测量转换电路一起封装在贴片IC封装中。工作电压为2.7～5V，加速度测量范围为几十个g，可输出与加速度成正比的电压。 “三明治”摆式硅微电容加速度传感器结构 1－加速度测试单元 2－信号调理单元 3－衬底 4－底层多晶硅（下电极） 5－多晶硅悬臂梁 6－顶层多晶硅（上电极） a）厚膜封装外形 b）“三明治”多晶硅多层结构 c）加速度测试单元的工作原理 硅微加工三轴加速度传感器 如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器，就可以测量三维方向的振动或加速度。 技术指标： 灵敏度：500mV/g ， 量程：10g， 频率范围：0.5-2000Hz， 安装谐振点：8kHz ， 分辨力：0.00004g ， 重量：200g ， 安装螺纹：M5 mm ， 线性误差：≤1% 加速度传感器在汽车中的应用 当测得的负加速度值超过设定值时，气囊电控单元据此判断发生了碰撞，就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。 装有多种 碰撞参数测量传感器的假人 气囊 汽车气囊的膨胀状态 使用加速度传感器可以在汽车发生碰撞时，经控制系统使气囊迅速充气 。 如果碰撞传感器安装在侧面，则在侧面碰撞时，侧面气囊膨胀。 汽车气囊对驾驶员的保护作用 测试假人 三、湿敏电容传感器 利用具有很大吸湿性的绝缘材料作为电容传感器的介质，在其两侧面镀上多孔性电极。当相对湿度增大时，吸湿性介质吸收空气中的水蒸气，使两块电极之间的介质相对介电常数大为增加（水的相对介电常数为80），所以电容量增大。使得下图RC振荡器中的输出频率f 变低。 湿敏电容传感器的结构及特性 a）内部结构 b）电容和漏电阻的湿度特性 c）封装后的外形 1－铝电极 2－单晶硅基底 3－SiO2 绝缘膜 4－多孔Au电极 5－吸湿层Al2O3 6－引线 7－电容与相对湿度的关系曲线 8－漏电阻与相对湿度的关系曲线 湿敏电容外形及内部结构 内部的吸水 高分子薄膜 信号调理电路 湿敏电容模块及传感器外形 湿敏电容传感器的安装使用 在野外的使用 带报警器的家庭使用型 多孔性氧化铝湿敏电容传感器外形 五、电容式接近开关 被检测物体可以是导电体、介质损耗较大的绝缘体、含水的物体（例如饲料、人体等) ；可以是接地的，也可以是不接地的。 调节接近开关尾部的灵敏度调节电位器，可以根据被测物的性质，来改变动作距离。 1.电容式接近开关内部结构 1－被测物 2－上检测极板（或内圆电极） 3－下检测极板（或外圆电极） 4－充填树脂 5－测量转换电路板 6－塑料外壳 7－灵敏度调节电位器RP 8－动作指示灯 9－电缆 UR－比较器的基准电压 2.电容接近开关的工作原理 电容接近开关的感应板由两个同心圆金属平面电极构成。 当没有被测物体靠近电容接近开关时，由于C1与C2很小，RC振荡器停振。当被测物体朝着电容接近开关的两个同心圆电极靠近时，两个电极与被测物体构成电容C，接到RC振荡回路中，等效电容C等于C1、C2的串联结果。 电容接近开关的工作原理（续） 当C增大到设定数值后，RC振荡器起振。振荡器的高频输出电压uo经二极管检波和低通滤波器，得到正半周的平均值。再经直流电压放大电路放大后，Uo1与灵敏度调节电位器RP设定的基准电压UR进行比较。若Uo1超过基准电压时,比较器翻转,输出动作信号(高电平或低电平),从而起到了检测有无物体靠近的目的。 3.电容接