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MEMS风速风向传感器及其系统研究的中期报告 中期报告： 摘要： 本研究旨在设计和实现一种基于MEMS技术的风速风向传感器及其系统，用于测量大气中的风速和风向。本报告介绍了该传感器的设计、制造和测试。我们使用了微机电系统（MEMS）技术，采用了高精度、低功耗、小尺寸的设计理念，研制出一种新型的风速风向传感器系统。 设计与开发： 传感器主体分为两个部分：一个用于测量风速的轴测量部分和一个用于测量风向的方位测量部分，通过二者综合测量得到风速和风向。轴测量部分是利用MEMS加速度计测量轴向振动信号，方位测量部分是利用MEMS陀螺仪测量方位角度。本设计的优势在于其具有以下特点：低功耗、小尺寸、高灵敏度和长寿命。 制造与测试： 在制造方面，我们采用了集成电路及MEMS工艺制作的方法来完成传感器的制造。在测试方面，我们采用了静态测试和动态测试两种方法来测试该传感器的灵敏性和准确性。实验结果表明，该传感器的响应时间、准确度和灵敏性均达到了预期值。 结论： 本研究通过采用MEMS技术，设计了一种高精度、低功耗、小尺寸的风速风向传感器及其系统。在制造和测试中，该传感器都表现出了良好的性能。未来，我们将继续对该传感器系统进行优化和改进，使其更加适用于各种大气环境的测量。