一种半导体双摆臂固晶自动组装线.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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本实用新型属于芯片制造技术领域，具体涉及一种半导体双摆臂固晶自动组装线，包括沿料片方向先后设置且布置于同一工作台面上的备料工位、刷胶工位、第一芯片工位、第二芯片工位、点胶工位、第三芯片工位和扫描工位；本方案通过第一轨道线和第二轨道线的运输，以及不同功能机构的合理位置搭配，能够实现芯片封装工艺中，芯片与样片放置作业的优化，将以前多个分体式设备完成的工作，在本生产线上实现一站式完成，从而提高芯片生产和制造的效率；同时，通过双摆盘机构的设计，能够通过第一摆盘机构和第二摆盘机构在料片的前半部分和后半部分

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219842964 U (45)授权公告日 2023.10.17 (21)申请号 202321196132.7 (22)申请日 2023.05.16 (73)专利权人深圳汐脉智能装备有限公司地址