成膜装置及成膜方法.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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成膜装置及成膜方法.pdf

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本发明提供一种提高监视单元的监视精度的成膜装置及成膜方法。成膜装置具备：第一蒸镀源，其向基板放出蒸镀物质；第一监视部件，其监视来自第一蒸镀源的蒸镀物质的放出状态；第二蒸镀源，其向基板放出蒸镀物质；以及第二监视部件，其监视来自第二蒸镀源的蒸镀物质的放出状态，其中，具备防附着构件，所述防附着构件抑制蒸镀物质从第一蒸镀源向第二监视部件的飞散，且抑制蒸镀物质从第二蒸镀源向第一监视部件的飞散，所述防附着构件具备：第一壁部，其沿第一方向延伸设置；以及第二壁部，其从第一壁部沿与第一方向交叉的方向延伸设置，第一

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116892009 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310302787.6 (22)申请日 2023.03.27 (30)优先权数据 2022-062513 202