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- 2023-10-18 发布于四川
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惯性传感器以及惯性测量模块。能够降低和抑制无用振动。惯性传感器包含：基板；相对于所述基板移位的可动体；以及衰减部，其使所述可动体相对于所述基板的移位衰减；所述衰减部具有：梳齿状的第1结构体，其包含基端与所述可动体连接的多个可动梳齿指；以及梳齿状的第2结构体，其包含基端与所述基板连接并与所述多个可动梳齿指交叉的多个固定梳齿指，所述可动梳齿指以及所述固定梳齿指各自的基端的宽度大于末端的宽度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116893282 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310344809.5
(22)申请日 2023.04.03
(30)优先权数据
2022-062428 202
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