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一种光学临近效应矫正方法及装置、可读存储介质、终端，所述方法包括：步骤A：对待修正版图中的各个待修正图形进行分割，每个待修正图形的每条边被分割为一条或多条线段，每条线段具有至少一个控制点；步骤B：对所述待修正版图进行光刻模型仿真，根据仿真结果确定至少一部分控制点的光强误差；步骤C：基于所述光强误差和预设光强阈值，确定至少一部分光强误差对应的控制点的近似零点，并判断该控制点是否处于震荡状态，以确定该控制点的移动偏移量。本发明可以有效提高光学临近效应矫正的矫正效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116893568 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202311156177.6
(22)申请日 2023.09.07
(71)申请人 全芯智造技术有限公司
地址 23
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