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芯片缺陷分类方法、系统、设备及可读存储介质.pdf

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本发明公开了一种芯片缺陷分类方法、系统、设备及可读存储介质,该芯片缺陷分类方法包括:获取待测芯片的标准影像和实际影像;基于所述标准影像和实际影像各对应坐标的像素点的灰阶值,确定所述实际影像中的超规像素点;将所述实际影像中坐标连续的超规像素点标记为一个集群;基于预设的筛选条件,确定各所述集群的缺陷类型。本发明提供的芯片缺陷分类方法通过自定义预设缺陷色差范围,灵活高效的将超规的像素点区分开;同时新增筛选条件,自由筛选符合条件的由相连像素点组成的集群,筛选条件可以组合使用且其对应的缺陷类型支持自定义,

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116894824 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310876002.6 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人 苏州康钛检测科技有限公司 地址

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