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本申请公开了一种基于莫尔条纹放大的高精度对准装置，涉及光刻对准技术领域，该装置中光源发出的平行光照射固定光栅衍射出第一条纹对、照射掩膜光栅衍射出第二条纹对与固定光栅相互交叉并形成预定交叉角度，两组条纹对交织形成菱形块结构，利用该装置，在通过待对准设备带动掩膜光栅沿着预定方向移动的过程中，通过相机获取待处理图像并识别得到衍射出的菱形块结构的实时质心坐标，直至实时质心坐标达到目标质心坐标时确定完成对待对准设备的对准。利用莫尔条纹放大现象在高倍镜头配合下产生高精度的位移对准效果，该放大效果不受外界设备
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116893585 A
(43)申请公布日 2023.10.17
(21)申请号 202310876480.7
(22)申请日 2023.07.17
(71)申请人 南京航空航天大学
地址 2140
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