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锚定构造.pdfVIP

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  • 2023-10-18 发布于四川
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锚定构造.pdf

    本发明揭露一种锚定构造，可供应用于包含一盖体层、一元件层和一基板层的微机电系统元件，以提升微机电系统元件对于应力的耐受度。该锚定构造包含位于该元件层的一第一锚定部、一第二锚定部及一挠性件，该第一锚定部与该第二锚定部分别连接于该挠性件两侧。其中，该第一锚定部经由一第一接合部固定于该盖体层，该第二锚定部经由一第二接合部固定于该基板层。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116891211 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202310347018.8 (22)申请日 2023.04.03 (30)优先权数据

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